針對(duì)電子半導(dǎo)體廢水處理，龍湖半導(dǎo)體工業(yè)是一個(gè)十分依賴(lài)水資源的行業(yè)，也是高耗水的行業(yè)，尤其在水資源有限的情形下，限水、缺水對(duì)半導(dǎo)體生產(chǎn)企業(yè)的營(yíng)運(yùn)產(chǎn)生巨大壓力。因此，對(duì)半導(dǎo)體生產(chǎn)企業(yè)節(jié)約用水的研究與實(shí)踐，有助于提升用水效益，降低用水成本。

目前，節(jié)約用水、中水回用、廢水的回收利用已成為半導(dǎo)體業(yè)者應(yīng)對(duì)缺水 危機(jī)的重要措施，特別是廢水的回收利用，既能減少對(duì)水資源的需求，又能降 低生產(chǎn)成本，同時(shí)也減少對(duì)環(huán)境的污染。

1、MVR蒸發(fā)器工作原理

MVR蒸發(fā)器利用蒸發(fā)器中產(chǎn)生的二次蒸汽，經(jīng)壓縮機(jī)壓縮，壓力、溫度升高，熱焓增加，然后送到蒸發(fā)器的加熱室當(dāng)作加熱蒸汽使用，使料液維持沸騰狀態(tài)，而加熱蒸汽本身則冷凝成水。這樣，原來(lái)要廢棄的蒸汽就得到了充分的利用，回收了潛熱，又提高了熱效率，生蒸汽的經(jīng)濟(jì)性相當(dāng)于多效蒸發(fā)的3效，減少了對(duì)外部加熱及冷卻資源的需求，降低能耗。

壓縮機(jī)對(duì)物料蒸發(fā)產(chǎn)生的二次蒸汽進(jìn)行壓縮做功，提高二次蒸發(fā)器的壓力和溫度，將電能轉(zhuǎn)化為熱能，升溫后的二次蒸汽回到蒸發(fā)系統(tǒng)，對(duì)物料進(jìn)行加熱，從而達(dá)到二次蒸汽熱娢再利用的目的，節(jié)能效果顯著，加熱過(guò)程主要消耗電力。

2、三效蒸發(fā)器工作原理

三效蒸發(fā)器是由相互串聯(lián)的三個(gè)蒸發(fā)器組成，低溫加熱蒸氣被引入*效，加熱其中的廢液，產(chǎn)生的蒸氣被引入第二效作為加熱蒸氣，使第二效的廢液以比*效更低的溫度蒸發(fā)，這個(gè)過(guò)程重復(fù)到第三效。*效冷凝水返回?zé)嵩刺帲渌餍Ю淠畢R集后作為淡化水輸出。

只要一份的蒸氣投入，可以蒸發(fā)多倍的水出來(lái)。同時(shí)，高鹽廢水經(jīng)過(guò)由*效到第三效的依次濃縮，在第三效達(dá)到過(guò)飽和而結(jié)晶析出，由此實(shí)現(xiàn)鹽分與廢水的固液分離。在負(fù)壓的作用下，三效蒸發(fā)器中的廢水產(chǎn)生的二次蒸氣自動(dòng)進(jìn)入冷凝器，在循環(huán)冷卻水的冷卻下，廢水產(chǎn)生的二次蒸氣迅速轉(zhuǎn)變成冷凝水。冷凝水可采用連續(xù)出水的方式，回收至回用水池。三效蒸發(fā)結(jié)晶器在廢水蒸發(fā)過(guò)程中蒸發(fā)效益更高。

3、多效蒸發(fā)器工作原理

多效蒸發(fā)器的原理是通過(guò)鮮蒸汽驅(qū)動(dòng)一效產(chǎn)生蒸發(fā)，再利用一效產(chǎn)生的二次蒸汽來(lái)驅(qū)動(dòng)下一效蒸發(fā)，以此來(lái)達(dá)到節(jié)能的目的。為了減少一次蒸氣的消耗量，采用將生產(chǎn)中產(chǎn)生出的二次蒸氣導(dǎo)入第二個(gè)蒸發(fā)器中作加熱蒸氣用，第二個(gè)蒸發(fā)器產(chǎn)生的二次蒸氣還可導(dǎo)入第三蒸發(fā)器中作加熱蒸氣用，每一個(gè)蒸發(fā)器稱(chēng)為一效，以此類(lèi)推。這樣，幾個(gè)蒸發(fā)器串聯(lián)操作，就組成了多效蒸發(fā)器。

多效蒸發(fā)器由較原始的蒸發(fā)釜，發(fā)展成單效、雙效、三效、四效或者更多效蒸發(fā)器，其目的都是為了逐漸減少能源消耗更高。